檢索結果：共13筆資料 檢索策略： "氧化鋅".ckeyword (精準) and cdept.raw="光電工程研究所"
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透明導電薄膜(Transparent Conductive Oxides ，簡稱TCO)近二十年成為了半導體產業常用到的材料。由於同時具備透光性以及導電性，可以應用各種光電產業元件。目前最常使用的透…
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此實驗使用反應式離子束濺鍍法沉積摻氮氧化鋅薄膜，採用陽極層離子源，以鋅為靶材，同時通入氬氣、氧氣及氮氣，探討氧/氮流量對摻氮氧氧化鋅薄膜的特性影響。實驗結果顯示在氧流量0.5 ~ 4.0 sccm，…
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利用熱蒸鍍系統在氧氣環境下蒸鍍金屬鋅顆粒，成長出單晶鋅-氧化鋅核殼結構奈米線，鋅奈米線直徑約為50 nm，並包覆一層厚約為7.5 nm的氧化鋅層，其成長方向皆為 ，經過熱氧化後，鋅-氧化鋅奈米線內部…
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本實驗使用反應式離子束濺鍍法在矽(100) 基板上沉積氧化鋅掺雜鋁薄膜，利用改變基板溫度、鋁摻雜含量來觀察薄膜特性的改變，分別使用200℃、100℃及室溫來成長薄膜。200℃沉積之晶粒大小最大約為9…
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本論文利用熱化學氣相沉積法於碳布上合成奈米碳管。為了增強奈米碳管的場電子發射特性，本研究利用硝酸的化學改質處理，移除奈米碳管頂部的金屬觸媒。不同硝酸處理時間的奈米碳管的場發射特性皆被量測。結果顯示，…
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本論文分為三部分，第一部分探討銅基金屬玻璃薄膜的基本性質分析，及氧化鋅奈米柱與奈米管結構之紫外光感測器；第二部分探討不同厚度的銅基金屬玻璃薄膜在氧化鋅奈米結構表面上之紫外光感測催化影響，並進行物性與…
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本研究以簡單與低成本的製程技術製備高效能的氫氣感測元件，內文將分為三個部分。第一部分探討氧化銦鎵鋅與超奈米鑽石之氫氣感測及物性分析，接著再探討氧化銦鎵鋅與超奈米鑽石(IGZO/N-UNCD)複合結構…
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本論文分為二部分，第一部分探討不同成長時間的摻氮的超奈米鑽石(N-UNCD)和氧化鋅及氧化銦鎵鋅複合奈米柱/管之氫氣感測器，並進行物性及電性之分析；第二部分探討不同成長時間的摻氬的超奈米鑽石(Ar-…
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本論文分為三部分，第一部分探討氧化鋅奈米柱及奈米管之紫外光感測器，及複合石墨烯之氧化鋅奈米柱及奈米管之紫外光感測器，並進行物性及電性分析；第二部分探討在不同成長時間之超奈米結晶鑽石上成長氧化鋅奈米柱…
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本研究以簡單與低成本的製程技術製備高效能的氫氣感測元件，內文將分為兩個部分。第一部分探討不同成長溶液濃度的氧化鋅奈米柱在平面結構矽基板之氫氣感測及物性分析。接著在摻雜不同條件的石墨相氮化碳於…